第1838章 照妖镜
凌晨两点,燕山余脉的盘山公路黑沉沉一片。
两辆墨绿色红旗越野车如黑豹般自林道后猛窜而出,死死卡住前方急弯。
刺耳的刹车声瞬间撕破了寂静夜幕。
“别动!双手抱头!”
赵铁柱带着保卫干警猛扑上前,一脚将车门狠狠踹开,一把掐住正慌忙拔线的外籍技术员后颈,将人重重砸在仪表盘上。
车厢内部挂满了频闪示波器,车顶的无线电高频天线发出滋滋尖鸣。
“赵队,搜出美制高频监测仪,还有一台加密便携工控机!”干警迅速递上设备。
“马上给我暴力破开!”赵铁柱粗声下令。
干警还在公文包里搜出一叠花旗银行汇票:“赵队,五万美元的花旗汇款单,汇款人正是崔在勋在香港设立的皮包账户!”
随队网络安全员手指在键盘上飞速敲击。
短短两分钟,屏幕跳出一份密级极高的英文指令。
安全员脸色骤变:“赵队,快看这个!”
“念!”赵铁柱双眼喷火。
“指令由汉城半导体协会驻华办签发,发给中关村龙芯微的第三方外籍维保人员。”
安全员指着代码:“他们在步进光刻机的冷水机芯片里植入了后门程序。”
“只要收到外部短波信号,冷水机就会在曝光时强制升温,造成硅片受热脱膜爆孔!”安全员满头冷汗补充道。
安全员又调出一份隐藏通讯簿:“赵队,硬盘里还留着汉城与郭振华、马家亲信联络的加密暗码!”
赵铁柱牙关紧咬,冷笑连连:“好一窝里应外合的吃里扒外之徒,全部封箱列为铁证!”
赵铁柱一把抓起加密步话机,向守在燕山的张红旗密电汇报。
听筒那一头,张红旗的声音沉稳如山,听不出一丝惊澜。
“崔在勋这是怕自己死得不够透。”
张红旗平静下达指示:“人押回中关村保卫处审讯,切断一切对外联络。老唐已带母液赶回龙芯微,他们想当面看戏,戏台就给他们搭大点。”
“明白!”赵铁柱干脆应命。
上午八点半,中关村龙芯微电子大楼。
晨风吹散楼间薄雾,一辆黑色奔驰轿车稳稳停在研发楼门前。
崔在勋身穿昂贵的藏青色西装,皮鞋擦得锃亮,带着三名外籍技术人员大步踏进大堂。
“张董事长呢?”
崔在勋下巴微扬,神态倨傲:“我们代表汉城半导体协会,来行使断供前的设备安全巡检权。”
二楼总控室窗前,张红旗身穿黑色风衣,从容俯瞰大堂。
唐国维快步走到身侧,压低声音:“红旗,冷水机微码清干净了,刷上了咱们自研的嵌入式固件,无线线圈全剪断了。”
“母液情况如何?”张红旗侧头问。
“超临界萃取的高纯酚醛胶,配比完全达标,正在黄光区恒温静置。”唐国维底气十足。
“走,下去会会这位汉城特使。”张红旗迈步下楼。
会客厅内,崔在勋慢条斯理放下咖啡杯,语调戏谑:“张董事长,这么急着开机试片,未免太草率了。”
张红旗拉开椅子坐下:“崔先生有何高见?”
“光刻胶可不是乡下作坊勾兑的油漆,日韩财阀垄断了全球九成五的市场份额。”
崔在勋冷笑连连:“没有成熟链条,树脂受热极易脱胶。飞溅的胶水糊满昂贵的德国镜头,你们可别怪机器不好用。”
崔在勋身子前倾,语气带着恐吓:“每台机器光是请外籍专家的工时费就要每小时八百美元,一片高纯单晶抛光硅片一百二十美元,你们烧得起几片?”
张红旗神色平静,注视着他:“际华造芯片为了自立,不差这点学费。”
张红旗缓缓站起身:“崔代表既然如此上心,何不一起进黄光区看个明白?”
崔在勋心底暗笑。
随行工程师带有短波发射器,只要按动暗掣,整片晶圆就会当场炸裂成废渣。
“既然盛情相邀,那就恭敬不如从命了。”崔在勋胸有成竹地起身。
众人换上全封闭防尘服进入黄光超净间,五百纳米防紫外黄色荧光灯散发着温润光晕,新风系统轻微嘶鸣,中央步进式光刻机与旋涂机静静伫立。
唐国维站在涂胶机主控屏前,戴好防静电橡胶手套:“各单元注意,准备上机。”
随行韩籍技术员靠向冷水机,右手探入衣袋,拇指反复按压遥控器。
然而温控读数纹丝不动,稳稳停在二十点零度。
“怎么回事?怎么一点反应都没有?”技术员额头渗出冷汗,在兜里死命按动按钮。
唐国维看在眼里,朗声下令:“启动太行零一号光刻胶中试涂覆!”
“设备自检完成!”副手高声汇报。
“放片,开启激光对中与真空吸附。”唐国维吩咐。
“吸盘压强负八十千帕,锁定正常!”副手迅速应答。
八英寸高纯单晶抛光硅片平稳吸附在旋转托盘中央,机械舱门徐徐闭合。
唐国维手持精密微量注液器,从恒温瓶抽取两毫升金色母液。
“注液就位。”唐国维沉稳发令。
一滴晶莹剔透、泛着纯净琥珀微光的黏稠液体,稳稳落在镜面中心。
“张总,准备起旋。”唐国维转头看向张红旗。
张红旗沉声道:“拉到四千转,走!”
“起转!”唐国维按键启动。
超高速无刷电机骤然发出尖锐蜂鸣,托盘疯狂旋转,强大的离心力将琥珀色树脂如水银泻地般推向四周。
崔在勋双眼死贴防爆视镜,屏息等待胶体飞溅。
然而,视镜内的景象让他脸上的得意瞬间凝固。
金色液体平滑延展,无丝毫气泡与颗粒断层,在防紫外黄光折射下,薄膜由内而外泛起一圈圈炫目璀璨的镜面彩虹色晕!
“出彩虹膜了!”副手忍不住失声大喊。
“膜层极其平整,转速四千转稳定!”操作员同样激动高呼。
六十秒旋涂倒计时归零。
电机的蜂鸣渐渐消退,吸盘缓缓停驻。
整块八英寸硅片光洁如镜,均匀覆盖着一层澄澈胶膜,在黄光下反射出无瑕光晕。
“这……绝不可能!”崔在勋失声退后,“国产胶怎么可能有这种流动性?!”
张红旗冷然发令:“送入激光椭偏测厚仪,验数据。”
机械臂托起硅片,平稳滑入全自动检测仓,红光探针在九个基准点上飞速扫描。
不到半分钟,主控屏刷出一行行鲜绿的数据。
“报告!全片平均膜厚七百二十纳米!”技术员嗓门发颤。
“边缘偏差呢?”唐国维追问。
“偏差率万分之四!”
技术员大声报喜:“粗糙度零点二八纳米,无微孔无颗粒,达到军工特级标准!”
崔在勋面如土色,双腿一软,撞在身后的不锈钢工具架上。
“你们作弊!这是汉城流出来的走私胶!”崔在勋歇斯底里尖叫起来。
“死到临头还在嘴硬。”
唐国维将质谱报告甩在他胸前:“燕山刚出炉的逆向萃取母液,金属杂质零点八个ppb,比你们汉城货纯净两倍!”
崔在勋看着鲜红印章,浑身抖如筛糠。
嗤的一声,车间气闸大门放气泄压。
两名身穿便衣的国家安全执法人员大步迈入,目光森严如冰。
执法人员展开盖有鲜红印章的公函,亮在崔在勋面前。
“崔在勋代表。”
执法人员冷冷开口:“请跟我们走一趟,解释一下侵入国家战略设备与刺探军工机密的问题。”
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