第144章 组装完成，国内首台EUV光刻机

第一百四十四章  组装完成，国内首台EUV光刻机

实验室的灯光彻底失去了昼夜之分。

自光刻机蓝图公布后的日子里，启元医疗的实验室就成了一座昼夜不息的战场。

荧光灯的冷光长时间笼罩，将每个人眼底的红血丝映照得格外清晰。

空气中弥漫着咖啡的焦香、电子元件的微热气息，还有淡淡的碳基材料粉末味，交织成属于科研攻坚的独特氛围。

陈野几乎是以实验室为家。

他穿着无尘服，面前的操作台被各类数据报表、零件样品堆满。

时而俯身观察配件的生产组装过程，时而对着光刻机核心部件的图纸蹙眉沉思。

同时不忘协调着各个攻坚小组的进度：

“张磊，把第三组碳基材料的光刻参数再调一下，曝光剂量降低0.5%，看看缺陷率有没有变化。”

“秦峰，对接一下材料研究所的专家，问问他们新批次高纯度碳基纳米材料的制备进度，我们这边快跟不上实验消耗了。”

他的声音里带着难掩的疲惫，却始终透着一股不容动摇的坚定。

团队成员没人叫苦，跟着他连轴转，每个人的眼中都燃着一股劲。

那是打破封锁、自主研发的信念，是见证奇迹的渴望。

苏晚晴的身影，成了这片紧张氛围里最温暖的慰藉。

每天临近饭点，她都会准时出现在实验室门口，手里提着冒着热气的保温桶。

一身简约的休闲装，长发盘成丸子头，脸上带着浅浅的笑意，却难掩眼底的关切。

她从不会过多打扰众人工作，只是轻手轻脚将温热的饭菜分好，然后走到陈野身边，递上一杯温水。

“先喝口水歇会儿，饭菜还是热的，都是你爱吃的。”

她轻柔的声音，仿佛能安抚紧绷的神经。

陈野总会停下手中的工作，接过水杯一饮而尽，暖意顺着喉咙滑下，驱散了些许疲惫。

他看着苏晚晴关切的目光，眼底的坚毅里多了几分柔软：

“这段时间太麻烦你了。”

“呦呵，我这逆子还会关心人了？”

对于他的感谢，苏晚晴总是笑着摇头打趣。

随后才会步入正题：

“我爸那边也一直在跟进资源对接，材料研究所的专家已经在路上了，说是带了最新的材料制备数据，还有几台关键的实验设备。”

果然，当天下午，材料研究所的专家团队就抵达了实验室。

领头的是国内碳基材料领域的泰斗级人物——李院士。

他头发花白，精神矍铄，一进门就直奔主题，拿出随身携带的平板电脑，调出密密麻麻的数据：

“陈总，幸不辱命！我们团队连夜优化了制备工艺，新批次的碳基纳米材料纯度达到了95%，比之前提升了两个数量级，这是详细的制备参数和性能检测报告。”

陈野眼睛一亮，立刻召集核心成员围了过来。

平板上的数据清晰明了，材料的纯度、稳定性、适配性等关键指标都远超预期。

负责材料适配的研究员激动地拍了下手：

“太好了！有这个纯度的材料，我们之前生产光刻镜时出现的边缘模糊、缺陷率高的问题，肯定能彻底解决！”

李院士看着陈野，眼中满是赞许：

“陈总，你提供的光刻机图纸太关键了。“

“我们根据图纸里的材料适配要求调整了工艺，才能在这么短的时间内拿出合格的材料。”

“不得不说，这图纸里的技术理念，刷新了我们对精密材料应用的认知啊！”

组件难题的突破，让团队的士气更盛。

而另一边，国产设备厂商也传来了好消息。

拿到陈野提供的定制设备图纸后，几家国内顶尖的设备厂商立刻开启了“三班倒”模式。

车间里机器轰鸣，火花四溅，工程师和工人们顶着压力加班加点，每一个零件的加工都精益求精。

为了确保精度达标，他们甚至临时调配了国内最先进的超精密加工设备。

反复打磨、检测，只为契合图纸上的每一个参数。

三天后，第一批定制设备顺利送达启元实验室。

巨大的设备被吊车缓缓送入指定区域，外包装拆开的瞬间，银灰色的机身泛着冷冽的金属光泽。

精密的接口、流畅的线条，无不彰显着顶尖的制造工艺。

设备厂商的项目负责人擦了擦额头的汗，对陈野说：

“陈总，所有设备都严格按照图纸要求制造，关键部件的精度误差控制在0.1微米以内，并且经过三次全负荷测试，性能完全达标！”

接下来，就是最关键的组装阶段。

陈野亲自带队，联合材料研究所的专家、设备厂商的技术人员，组成了专项组装团队。

每个人都各司其职，小心翼翼地组装着光刻机的核心部件。

光源系统、光刻物镜、工作台，被逐一吊装、定位、连接。

金属衔接时的清脆声响、仪器校准的提示音、团队成员之间的低声交流，交织成一首紧张而有序的交响曲。

苏晚晴也全程守在实验室，不仅负责协调各方的后勤保障，还时不时帮着记录数据。

她看着陈野专注的侧脸，看着团队成员们默契的配合，心中满是敬佩。

她知道，陈野所做的这一切，不仅仅是为了启元医疗，更是为了整个国家的半导体产业。

时间一分一秒地流逝，实验室里的氛围越来越紧张。

当最后一个核心部件光刻物镜被精准安装到位，当仪器发出“校准完成”的提示音时，整个实验室瞬间安静了下来。

陈野深吸一口气，缓缓直起身。

他的脸上布满了疲惫，眼底却闪烁着炽热的光芒。

随后转身看向众人，声音带着一丝不易察觉的颤抖，却无比坚定：

“启动检测程序！”

张磊立刻上前操作，手指在触控屏上轻轻一点。

“嗡——”

初代EUV光刻机缓缓启动，机身发出轻微的震动，指示灯从红色逐渐变成绿色。

屏幕上，各项性能参数不断跳动、稳定。

【光源功率达标】

【光刻精度达标】

【工作台定位精度达标】

【......】

所有关键指标，全部符合设计要求！

“成了！”

看到数据张磊脸面露出无与伦比的激动，立马放声大喊了出来。

“成功了！我们造出光刻机了！”

实验室里瞬间爆发出雷鸣般的欢呼。

有人用力拥抱在一起，有人激动地挥舞着拳头，有人红着眼眶。

李院士看着运转正常的光刻机，感慨万千地说：

“不容易啊......太不容易了！”

“我们终于有了自己的EUV光刻机，再也不用被外国人卡脖子了！”

陈野走到光刻机前，伸出手，轻轻触摸着冰冷的机身。

指尖传来细微的震动，仿佛是中国半导体产业重生的脉搏。


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